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2023-09-14 发布于四川
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一种IC芯片生产用清洗装置.pdf

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本实用新型公开了一种IC芯片生产用清洗装置，属于芯片加工技术领域，其包括等离子清洗设备，所述等离子清洗设备的两侧均铰接有密封门，且两个密封门之间均设有触压组件，两个触压组件固定连接在等离子清洗设备内腔的背面，且两个触压组件之间通过管道连通。该IC芯片生产用清洗装置，通过设置触压组件和弹性组件，在进行检修等离子清洗设备时，则打开密封门与触压组件产生分离，此时弹性组件即可产生弹性复位，使得弹性组件带动插头与外界插口分离，此时即可对等离子清洗设备自动断电处理，避免相关人员遗忘导致带电操作发生触电安全事

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219664624 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202320049260.2 (22)申请日 2023.01.09 (73)专利权人上海瞬雷科技有限公司地址 2

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