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万方数据 学校代码:10225 学 号:S22386 学 位 论 文 超精密数控机床动静压气体轴承动静态特性研 究 穆岩璞 指导教师姓名: 李树森 教授 东北林业大学 申请学位级别: 硕 士 学科专业: 机械电子工程 论文提交日期: 2022 年 4 月 论文答辩日期: 2022 年 5 月 授予学位单位: 东北林业大学 授予学位日期: 2022 年 6 月 答辩委员会主席: 论 文 评 阅 人: 万方数据 University Code :10225 Register Code :S22386 Dissertation for the Degree of Master Research on dynamic and static characteristics of dynamic and static pressure gas bearing of ultra- precision CNC machine tool Candidate: Mu Yanpu Supervisor: Professor Li Shusen Associate Supervisor: Academic Degree Applied for: Master of Engineering Speciality: Mechanical and Electronic Engineering Date of Oral Examination: June,2022 University: Northeast Forestry University 万方数据 摘要 摘要 当前中国制造业重点向着超精密加工的方向发展,超精密数控机床是实现超精密加 工的重要手段,动静压气体轴承作为超精密数控机床主轴系统的关键部件,是影响加工 精度的主要因素,单一润滑方式的气体轴承存在承载能力低和稳定性差等问题,影响加 工精度。本文提出了带双向微通槽和螺旋槽动静压气体径向轴承与螺旋槽狭缝节流动静 压气体止推轴承结构,通过理论计算与仿真分析对动静压气体轴承的动静态特性进行研 究并对静态特性仿真结果加以试验验证,为超精密数控机床加工精度的提高提供理论基 础。 通过分析节流器与动压槽,提出动静压气体轴承的结构,并初步确定其工作参数与 结构参数。对气体润滑理论进行分析,推导出无量纲形式的雷诺方程。根据所设计的动 静压气体轴承对动静压气体主轴系统进行整体结构设计。 建立动静压气体轴承的雷诺方程,对其进行离散化处理,得到静态特性系数的理论 求解结果。运用 Soildworks 建立动静压气体轴承的三维气膜模型,利用

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