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燕山大学
传感器设计说明书
课题名称：差动变面积式电容位移传感器 班 级：
指导教师：
学生某某：
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摘要
设计差动变面积式电容位移传感器，要求规定的设 计参数。 1、测量 X 围〔mm〕：0~±1mm；2、线性度〔%Fs〕： 0.5；3、分辨率〔μm〕： 0.01；4、灵敏度〔PF/mm〕： 2.3。通过理论设计、 结构设计、 理论分析等过程设计传 感器结构和测量电路，画出结构示意图和测量电路图， 并进展参数计算。利用参数和结构来选择合理的方法消 除或减少寄生电容的干扰影响。结合传感器实验平台， 确定传感器的静态灵敏度和线性
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