AFM原子力显微镜详解.ppt

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AURORA Confidential;原子力显微镜的基本原理;原子力显微镜探针工作流程;如上图所示,二极管激光器(Laser Diode)发出的激光束经过光学系统聚焦在微悬臂(Cantilever)背面,并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器(Detector)。在样品扫描时,因为样品表面的原子与微悬臂探针尖端的原子间的相互作用力,微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏,反射光束也将随之偏移,因而,经过光电二极管检测光斑位置的变化,就能取得被测样品表面形貌的信息。;原子力显微镜仪器构造;力检测部分;位置检测部分;反馈系统;原子力显微镜;工作模式;接触模式;非接触模式;敲击模式;三种模式的比较;应用领域;致谢AURORA Confidential;原子力显微镜的基本原理;原子力显微镜探针工作流程;如上图所示,二极管激光器(Laser Diode)发出的激光束经过光学系统聚焦在微悬臂(Cantilever)背面,并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器(Detector)。在样品扫描时,因为样品表面的原子与微悬臂探针尖端的原子间的相互作用力,微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏,反射光束也将随之偏移,因而,经过光电二极管检测光斑位置的变化,就能取得被测样品表面形貌的信息。;原子力显微镜仪器构造;力检测部分;位置检测部分;反馈系统;原子力显微镜;工作模式;接触模式;非接触模式;敲击模式;三种模式的比较;应用领域;致谢

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