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本发明公开了一种MEMS扫描镜闭环角度控制系统及方法，具体控制系统包括扫描镜驱动模块、角度反馈模块和角度控制模块。首先，由驱动模块产生原始驱动信号使MEMS扫描镜在二维方向运动，同时，通过集成在扫描镜上的角度传感器进行实时检测得到扫描镜的角度信号，角度信号将被传输到角度控制模块进行处理。角度控制模块是该系统的核心，该角度控制模块分别由PLL(锁相环)控制和AGC(自动增益控制)两部分组成，首先PLL控制部分实现对MEMS扫描镜驱动信号的频率控制；然后AGC部分实现对MEMS扫描镜驱动信号的幅度控
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116794828 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310544795.1
(22)申请日 2023.05.15
(71)申请人 北京信息科技大学
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