《包装测试技术》电容式传感器.pdf

包装测试技术 五 包装工程专业课 第三节电容式传感器 以电容器为敏感元件，将机械位 移量转换为电容量变化的传感器称为 电容式传感器。 电容式接近开关 差压传感器 电容式变送器 第四章常用传感器及显示记录仪器 一、原理 BA_606;A C= d d A——极板的遮盖面积，单位为m2; ε——极板间介质的介电系数； d——两平行极板间的距离，单位为m; ——真空的介电常数，=8.854×1012 F/m; f,——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，e,≈1。 二、分类 电容式传感器 变间隙型 变面积型 变介质型 三、变极距型电容传感器 Q 极板1 d 极板2 6 do 变极距型电容传感器 C-d特性曲线 灵敏度 dC 1 C S= =-8A d(d) d2 工作范围 δ △dd? 0 变极距型电容传感器特点： 定极板 ①电容式位移传感器的位 移测量范围在1um—动极板 10mm之间，变极距式 C2 2 电容传感器的测量精度 约为2%; 定极板 ②采用差动提高灵敏度； ③动态响应好； 差动式变间隙型电容传感器 ④适用于测量非线性测试， 输出也是非线性。 灵敏度： △C Co K==2 提高一倍 △δ δo 四、面积变化型 L D? (a)角位移式 圆柱形电容式线位移传感器 面积变化型电容传感器特点 ①变面积式电容传感器的测量精度较高，其 分辨率可达0.3um。; ②灵敏度为常数； ③输出线性； 五、变介质型电容传感器 SA