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包装测试技术
五
包装工程专业课
第三节电容式传感器
以电容器为敏感元件,将机械位
移量转换为电容量变化的传感器称为
电容式传感器。
电容式接近开关 差压传感器
电容式变送器
第四章常用传感器及显示记录仪器
一、原理 BA_606;A
C=
d d
A——极板的遮盖面积,单位为m2;
ε——极板间介质的介电系数;
d——两平行极板间的距离,单位为m;
——真空的介电常数,=8.854×1012 F/m;
f,——极板间介质的相对介电常数,对于空气介质,e,≈1。
二、分类
电容式传感器
变间隙型 变面积型 变介质型
三、变极距型电容传感器
Q
极板1
d
极板2
6 do
变极距型电容传感器 C-d特性曲线
灵敏度
dC 1 C
S= =-8A
d(d) d2
工作范围
δ
△dd? 0
变极距型电容传感器特点:
定极板
①电容式位移传感器的位
移测量范围在1um—动极板
10mm之间,变极距式 C2
2
电容传感器的测量精度
约为2%; 定极板
②采用差动提高灵敏度;
③动态响应好; 差动式变间隙型电容传感器
④适用于测量非线性测试,
输出也是非线性。 灵敏度:
△C Co
K==2 提高一倍
△δ δo
四、面积变化型
L
D?
(a)角位移式 圆柱形电容式线位移传感器
面积变化型电容传感器特点
①变面积式电容传感器的测量精度较高,其
分辨率可达0.3um。;
②灵敏度为常数;
③输出线性;
五、变介质型电容传感器
SA
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