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一种声表面波器件结构及其横向杂波模式抑制方法.pdfVIP

一种声表面波器件结构及其横向杂波模式抑制方法.pdf

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    本发明公开了一种声表面波器件结构及其横向杂波模式抑制方法，该结构包括汇流排、假指、间隙和指条组件，所述指条组件包括沿轴向均匀设置的多个指条，且所述指条沿竖向方向整体呈具有多个台阶的阶梯形结构。本方案通过对汇流排、假指、间隙、阶梯形指条结构进行优化，在抑制各阶次杂波模式寄生的同时，还可激发高Q值（品质因数）声波模式。由此，有利于实现声表面波器件的低损耗、通带高平坦度等性能，满足了高速移动通讯等终端对高性能表面波器件的要求，且该结构使用的制备工艺容易实现，易于大规模推广。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116827295 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310455754.5 (22)申请日 2023.04.25 (71)申请人 中国电子科技集团

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