《光伏电池片制程用石英管》编制说明.docxVIP

PAGE9 / NUMPAGES9 《 光伏电池片制程用石英管》标准征求意见稿编制说明 一、工作简况 任务来源 石英玻璃管是光伏电池片的生产制程中重要的容器和设备材料之一，它具有高纯度、耐高温、耐腐蚀、高热稳定性和高电绝缘性等优质特点，石英玻璃管的质量在电池片的扩散、外延、氧化等环节的应用将直接影响成品硅片的性能。当前市场上的光伏行业用石英材料质量参差不齐、竞争无序，对光伏产业链的健康发展存在一定的隐患。为了共同维护和推进光伏行业的健康发展、追求质量的长久稳定，2020年8月由江苏太平洋石英股份有限公司向中国电子材料行业协会石英材料分会申请制定“光伏电池片制程用石英管团体标准”，经协会和专家团评审确认立项。本标准制定对象为“以高纯石英砂（二氧化硅）为原料，采用连续电熔工艺生产并采用扩管工艺二次成型的，用于光伏电池片扩散和PECVD制程用直径300-600mm的石英管。” 1.2 标准编制工作相关方及工作组成员单位 指导单位：中国电子材料行业协会 承担单位：江苏太平洋石英股份有限公司 主要参与单位和工作组成员： 序号 单位名称 标准联络人 职称/职务 1 西安隆基绿能科技股份有限公司 李改改 技术经理 2 晶科能源控股有限公司 马腾飞 开发经理 3 晶澳太阳能有限公司 赵永猛 技术经理 4 沈阳汉科半导体材料有限公司 李吏斌 技术经理 5 北京凯德石英股份有限公司 张忠恕 总经理 6 上海强华石英有限公司 周文华 总经理 简要工作经过 2020年8月由江苏太平洋石英股份有限公司向中国电子材料协会提出制定“光伏电池片制程用石英管”团体标准申请，阐述标准制定的目的、意义、技术要求和国内外情况说明，初步确认了相关参与单位与职责。 2020年9月分会秘书长带队，协会有关人员及专家组在江苏太平洋石英股份有限公司召开了立项评审会并进行了实地调研。重点了解了石英管的生产流程、各生产环节核心技术控制点、主要生产设备、产品的性能检测、外观检验和包装等过程。通过申请单位的详细阐述和专家组、行业内相关企业的密切交流，协会与专家评审会决定予以立项。 2020年10月-11月由团体标准工作组参考JC/T 597 半导体用透明石英玻璃管、GB/T 4121 石英玻璃热变色性试验方法、GB/T 10701 石英玻璃热稳定性试验方法、GB/T 12442 石英玻璃中羟基含量检验方法、GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划等相关标准，集合电池片生产制程对石英管的普遍要求和使用反馈等综合考虑于12月初形成团体标准工作组内部讨论稿。 2020年12月由协会、专家组和光伏电池片生产、石英加工等企业和用户在江苏太平洋石英股份有限公司针对团体标准内部讨论稿进行了研讨。会议纪要见附件1。 二、标准的编制原则和依据 2.1 标准结构及编写 本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。 2.2 标准主要内容的确定 在实地调研和表述征集的基础上遵循如下原则确定标准的主要内容 （1） 符合光伏电池片生产制程需求，客观描述该制程中应用的石英管尺寸、外观与理化性能要求，以及检验操作规范等。 （2）具有可操作性； 与国家标准的兼容性。 三、标准主要内容的确定 石英管在光伏电池片生产制程中的应用针对其尺寸、外观和理化性能的控制应该有统一的要求，结合其使用的温度、硅片的纯度、使用时间和使用环境等方面，从实际使用出发，参考《半导体用透明石英玻璃管》 、《太阳能电池硅片用石英扩散管》等标准，针对光伏电池片制程用的石英管制定统一规范。此标准是针对“以高纯石英砂（二氧化硅）为原料，采用连续电熔工艺生产并采用扩管工艺二次成型的，用于光伏电池片扩散和PECVD制程用直径300-600mm的石英管。”根据行业使用要求和关注点重点规范了石英管的尺寸偏差、外观缺陷标准、理化性能标准、检验方法和检验规则等。 3.1 石英管公差尺寸 本标准所指的石英管在客户深加工后（主要指焊接、机械加工等）其主体部分的外径、厚度椭圆度和偏壁度不会发生改变，可以满足行业扩散管等成品要求，但是不同外径或壁厚的石英管公差范围根据其生产难度必然存在差异，结合其在光伏电池片设备中的容忍度制定为如下。 单位为毫米 外径OD 外径偏差 椭圆值 壁厚t 壁厚偏差 偏壁值 300≤OD＜400 ±1.0 ≤1.0 t≤3 ±0.5 ≤0.6 400≤OD＜500 ±1.0 ≤1.5 3＜t≤5 ±0.5 ≤0.8 500≤OD＜600 ±1.0 ≤2.0 t＞5 ±10%*wt ≤1.0 3.2 石英管外观缺陷 石英管的气泡、气线在生产过程中为