一种可拉伸单片集成光子传感器网络及其制备方法.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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一种可拉伸单片集成光子传感器网络及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种可拉伸单片集成光子传感器网络，包括光子晶体微腔、柔性缓冲层、柔性支撑层，光子晶体微腔设于柔性缓冲层内，且光子晶体微腔沿着柔性缓冲层的波导结构间隔排布；柔性缓冲层设于柔性支撑层内；光子晶体微腔内设有多级的传感器单元，光子晶体微腔与柔性缓冲层之间还设有光栅耦合器；光子晶体微腔内的多级传感器单元可分为两组，且两组传感器单元呈正交排列，其中一组能够探测来自X方向上的刺激源，另一组能够探测来自Y方向上的刺激源，两组传感器单元共同构成二维传感网络。本发明的传感器网络集成在可拉伸的柔性基底上，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116880005 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310573671.6 G02B 1/00 (2006.01) (22)申请日 2023.05.2