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本发明公开了一种用于半导体级电子级氢氟酸生产的精馏热泵系统，包括精馏塔、热泵组件、第一换热套管以及蒸汽加热套管。精馏塔的塔顶连接至热泵组件的第一进料口，第一出料口回流至精馏塔的塔顶。精馏塔的塔底连接至热泵组件的第二进料口，第二出料口回流至精馏塔的塔底；精馏塔与热泵组件第二进料口之间的管道上设置有第一换热套管，第一换热套管的进口连接至精馏塔与热泵组件第一进料口之间的管道上，第一换热套管的出口连接至精馏塔与热泵组件第一出料口之间的管道上；热泵组件第二出料口与精馏塔之间的管道上设置有蒸汽加热套管，本发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116870510 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310950249.8
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 福建汉芯科技有限公司
地址 35
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