有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共8页，其中可免费阅读7页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种晶圆清洗设备，包括：清洗槽，所述清洗槽内包括清洗液，用于清洗晶圆；抽风口档板，设置在所述清洗槽上方的抽风口处，以避免所述抽风口直接对着晶圆抽气；槽区挡板，围绕所述清洗槽的槽口设置，以避免所述清洗槽上方的气体串流。根据本发明提供的晶圆清洗设备，通过在清洗槽上方的抽风口处设置抽风口挡板，避免抽风口直接对着晶圆抽气，从而避免了晶圆快速风干表面形成局部氧化，通过围绕清洗槽的槽口设置槽区挡板，避免了不同类型的酸气在槽区之间横向串流，通过共同设置抽风口挡板和槽区挡板改变了晶圆清洗设备槽区内循
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116884879 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310886685.3
(22)申请日 2023.07.18
(71)申请人 荣芯半导体（淮安）有限公司
地址
文档评论（0）