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本实用新型公开了一种侧放硅片花篮，属于硅片生产设备技术领域。它包括端板、底杆、侧板，两块平行的端板底部之间通过两根底杆连接固定，端板两侧分别固定有一块侧板，所述侧板一面设有多个用于放置硅片的齿槽，两块侧板呈倒八字型固定在两块端板之间，两块侧板之间夹角为90°，硅片的一个角放入两块侧板对应的齿槽之间。本硅片花篮轻便小巧，不同于正放硅片的花篮，它采用倾斜设置的一对侧板，将硅片一角放入两倾斜侧板之间，硅片一角处于最下方，清洗完后，清洗液便于从硅片最底角流下，最后晾干时，不易出现清洗液污染硅片整条边的现
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210668308 U
(45)授权公告日
2020.06.02
(21)申请号 20192
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