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本实用新型公开了一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机,所述开方机包括开方机本体及所述单晶硅棒切割面角度检测装置;所述单晶硅棒切割面角度检测装置包括测距传感器、安装座及平移驱动机构;安装座安装于夹持机构的夹持座处,且位于夹持机构所夹持的单晶硅棒下方;平移驱动机构用于驱动测距传感器移动;测距传感器与平移驱动机构连接,且竖直向上朝向单晶硅棒。在完成单晶硅棒的中轴线与夹持机构的对准后,测距传感器则采集第一个间距数据,驱动测距传感器移动一定距离后,采集第二个间距数据,若第一个间距数据和第二个间距数据不一
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210664422 U
(45)授权公告日
2020.06.02
(21)申请号 20192
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