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一种退火装置.pdfVIP

一种退火装置.pdf

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    本实用新型提出一种退火装置，所述退火装置包括：加热组件，所述加热组件内具有炉腔；回收组件，所述回收组件连接所述加热组件，所述回收组件具有一回收腔，所述回收腔连通所述炉腔；其中，所述回收组件还包括一冷凝件，所述冷凝件上的冷凝部位于或部分位于所述回收腔中。本实用新型提供的退火装置中，模板剂可通过炉腔与回收腔形成的通道进入到回收腔中，冷凝件的表面温度低于模板剂的凝固点，使得回收腔中的整体温度较低，模板剂在回收腔中遇冷冷凝/结晶在回收腔中聚集，从而实现模板剂的回收。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210657018 U (45)授权公告日 2020.06.02 (21)申请号 20192

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