一种体声波谐振器、形成方法、滤波器、通信设备及终端.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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一种体声波谐振器、形成方法、滤波器、通信设备及终端.pdf

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本申请实施例提供一种体声波谐振器、形成方法、滤波器、通信设备及终端，包括：压电层；电极层，包括位于所述压电层上方的顶电极和位于所述压电层的下方的底电极，所述顶电极、所述压电层和所述底电极相互重叠形成有有效谐振区；低声阻抗材料环，设置于所述有效谐振区内所述有效谐振区的边缘处，且位于所述压电层和所述电极层之间。本申请实施例，通过增设低声阻抗材料环，利用声波在不同介质间传播时反射的特性，将泄露的声波反射回有效谐振区内，可以抑制声波能量的泄露，包括横波的泄露，提升体声波谐振器的品质因数，提升体声波谐振器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116896346 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310836264.X (22)申请日 2023.07.07 (71)申请人北京芯溪半导体科技有限公司地址

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