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参考书:《微电子器件物理根底》 1、施敏[美]著 ,《半导体器件物理与工艺》,苏州大学出版社,2023年。 2、孟庆巨、刘海波、孟庆辉编著,《半导体器件物理》,科学出版社,2023年。 3、刘树林、张华曹、柴常春编著,《半导体器件物理》,电子工业出版社,2023年。 4、半导体物理与器件 (美)D.A. Neamen 赵毅强等译 电子工业出版社 5、半导体制造技术 Michael Quirk et al. 电子工业出版社 6、半导体器件根底 (美)B.L. Anderson, R.L. Anderson, 邓宁等译 清华大学出版社 7、微电子学概论 张兴 北京大学
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