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制备和分析薄膜的方法.pdfVIP

制备和分析薄膜的方法.pdf

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    本公开的各方面提供了一种制备聚焦离子束(FIB)样本和在电子显微镜系统中分析该样本的方法。该方法可以包括：在衬底之上形成靶膜，该靶膜具有小于与针对FIB要求的限制对应的阈值的厚度；以及在该靶膜之上形成支撑膜。该方法还可以包括获得包括靶膜的一部分和支撑膜的一部分的FIB样本。该方法还可以包括在电子显微镜系统中分析靶膜的所获得的部分。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112041671 A (43)申请公布日 2020.12.04 (21)申请号 202080001723.7 G01N 23/2251 (2018.01) (22)申请日

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