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一种可更换的弹缩性探针卡的制备方法、3D打印设备.pdf

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    本发明属于探针制备技术领域，具体涉及一种可更换的弹缩性探针卡的制备方法、3D打印设备，方法包括步骤：S1、在基板表面预设位置处形成第一材料层；S2、在第一材料层至少一部分表面形成第二材料层，并对第二材料层顶部进行削平操作，以形成探针；S3、循环执行步骤S1~步骤S2，以在基板表面多个预设位置处形成探针，以得到探针卡；所述第一材料层和第二材料层中，其中一层为柔性导电材料形成，另一层为非柔性导电材料形成。本发明可基于3D打印的方式，制备一种可进行拆卸更换的弹性探针卡，以提升探针的使用寿命并能够合理有

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116916540 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310794007.4 G01R 1/067 (2006.01)

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