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一种基于光谱反射率极值点斜率的薄膜厚度测量方法.pdfVIP

一种基于光谱反射率极值点斜率的薄膜厚度测量方法.pdf

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    本发明涉及光学精密测量技术领域，公开了一种基于光谱反射率极值点斜率的薄膜厚度测量方法，利用待测薄膜的实测绝对光谱反射率，提取实测极值序列，再根据实测极值序列获得实测极值点斜率，然后根据预设薄膜厚度求解预设极值点斜率，再基于预设极值点斜率、实测极值点斜率，求取待测薄膜厚度。本发明解决了现有技术存在的难以获得可靠的拟合结果、薄膜厚度测量误差较大等问题。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116907364 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310744984.3 (22)申请日 2023.06.21 (71)申请人 中国工程物理研究院材料研究所 地址

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