一种基于石墨烯的氢气传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-10-21 发布于北京
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一种基于石墨烯的氢气传感器及其制备方法.pdf

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本发明属于气体传感器技术领域，公开了一种石墨烯的氢气传感器及其制备方法，氢气传感器的气敏传感层为不含任何金属成分的纯石墨烯，通过外加紫外灯照射，能够实现纯石墨烯对于氢气的敏感响应；纯石墨烯的气敏传感层由化学气相沉积法制备得到，即利用碳源，在载气作用下，在特定生长温度下进行合成。本发明的石墨烯层数可控、稳定性强、寿命久；制备流程简单，成本低，制备的氢气传感器具有较快的响应速度和和较低的检出限，并且测试方法简便，器件的灵敏度高、实用性强。本发明制备的氢气传感器，在紫外灯辅助下实现对于氢气的ppm级响

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116908248 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310757111.6 (22)申请日 2023.06.26 (71)申请人天津大学地址 300072

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