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团体标准
《PSA变压吸附高纯制氧机》
编制说明
(征求意见稿)
2023年10月
《PSA变压吸附高纯制氧机》编制说明
一 、标准制定的目的、意义
纯氧在电子、冶金、化工、医疗、焊接、切割和金属加工等领
域都有广泛的应用,并且对氧气的纯度有严格的要求。我国在电子
工业用氧的国标中规定,半导体及集成电路级用氧的纯度 (体积分
数)要求达到 99.5%。在冶金行业,转炉炼钢以及电焊切割中要求
氧的纯度在 99.2%以上。在医用和航空呼吸用氧的国标中规定氧的
纯度要达 99.5%。
目前,工业上应用的制纯氧的方法主要有深冷精馏和变压吸附
(Press Swing Adsorption,PSA)法两种。深冷精馏法是20世纪初
就发展起来的传统的制氧工艺,其原理是利用空气中各组分的沸点
不同,在低于空气各组分沸点的温度下精馏进行气体的分离和提纯。
深冷精馏法能够制备出纯度达99.5%~99.9%的氧气。但深冷法的设
备复杂、占地面积大,能耗高,因而基建费用和操作成本高,适合
于大规模的制氧企业。
PSA是应用广泛的气体分离和提纯的方法,它使气体在高压下吸
附、在低压下解吸再生而形成周期性操作。与深冷精馏法比较,PSA
法的投资和操作费用低,适用于中小型规模的制氧企业,其应用范
围最广。为工业生产中氧气制备的主要技术。然而受传统PSA工艺及
分子筛性能的制约,现有 PSA 空分制氧技术所制备的氧气浓度小于
96%,大大限制了 PSA 制氧技术的应用范围。因而,既保留PSA制氧
技术的优点,又能提高氧气浓度至99.5%的PSA变压吸附高纯制氧机
具有很大的实用价值。
PSA 变压吸附高纯制氧机基于现有的国家行业标准 JB/T
6427—2015 《变压吸附制氧、制氮设备》。PSA 变压吸附制氧机技
术成熟,已经大规模应用。PSA 变压吸附高纯制氧机以 PSA 变压吸
2
附制氧机为基础,在此基础上加入了氧气纯化装置,采用脱氩工艺,
将第一级富氧气 (即PSA变压吸附制氧机制取的93%氧)中的氩气分
离,以得到高浓度的氧气。
目前国内团标有T/ZSM 0008-2022 《高纯度变压吸附(PSA) 制氧
设备》,其适用范围为 “适用于在常温下利用压缩空气采用分子筛
变压吸附法(PSA),从空气中分离制取氧气,制氧产量不大于 1000
m3/h、制氧纯度不小于97%的设备”,该产品采用了传统的PSA制氧
工艺,只是加以优化,未采用二级脱氩,制氧纯度无法达到99%,无
法满足电子工业用氧、医用和航空呼吸用氧等对氧纯度要求较高的
使用场景。浙江制造标准 T/ZZB 2450-2021 《变压吸附(PSA)制氧设
备》制氧纯度为 93%,也未采用二级脱氩。目前国内没有相关的PSA
变压吸附高纯制氧机团体标准。
PSA变压吸附高纯制氧机作为一种高端装备,所适用的标准已经
落后于行业发展现状,无法满足行业高速健康发展要求。因此制订
并发布一套 《PSA变压吸附高纯制氧机》团体标准,对于树立行业标
杆标准、促进产业健康发展,十分必要且迫在眉睫。
二 、标准编制原则及依据
1.按照 GB/T 1.1-2020 《标准化工作导则第 1 部分:标准化
文件的结构和起草规则》要求进行编写。
2.参照相关法律、法规和规定,在编制过程中着重考虑了科学
性、适用性和可操作性。
三 、项目背景及工作情况
(一 )任务来源
本项目依据中国国际科技促进会[2023]中科促标字853号文件
“关于开展 《PSA变压吸附高纯制氧机》团体标准立项通知”,归口
单位为中国国际科技促进会。
3
(二 )标准起草单位
本标准的主要起草单位是浙江凯斯泰克制造科技有限公司、浙
江远大空分设备有限公司、杭州信隆净化设备有限公司、杭州昊海
企业管理咨询有限公司等参与起草。
(三 )标准研制过程及相关工作计划
1、研制过程
2023年6月1日,浙江凯斯泰克制造科技有限公司等单位组建标
准起草小
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