一种用于衬底应力检测的夹具.pdfVIP

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2023-10-29 发布于四川
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一种用于衬底应力检测的夹具.pdf

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本申请公开了一种用于衬底应力检测的夹具，属于衬底应力检测辅助设备技术领域。该夹具包括：永磁底座，永磁底座的底部设置有连接部件，连接部件用于与检测仪器的样品台连接；样品放置盘，样品放置盘设置在永磁底座的上方，样品放置盘内部含有金属颗粒，样品放置盘用于放置待测衬底；样品夹持件，样品夹持件设置在样品放置盘上方，样品夹持件与待测衬底的周向抵接，用于夹持待测衬底。该夹具能够取代现有的真空吸附方式，实现在应力检测过程中对待测衬底的固定，整体检测过程中不会引起额外的应力，保证待测衬底的应力检测准确性，且在样品

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219901895 U (45)授权公告日 2023.10.27 (21)申请号 202321364033.5 (22)申请日 2023.05.31 (73)专利权人上海天岳半导体材料有限公司地址