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本发明提出的一种六氟化钨的制备及纯化系统,包括:顺序连接的六氟化钨的制备装置、过滤单元、第一精馏装置、氧化还原单元、第二精馏装置以及六氟化钨捕集装置;所述六氟化钨捕集装置的进气口分别与所述第一精馏装置和所述第二精馏装置连接,且所述六氟化钨捕集装置的出气口与所述六氟化钨的制备装置连接。本案中创造性的使用后续反应中捕集的汽化六氟化钨气体进行稀释,这样的好处是,一方面可以提高原料的利用率,另一方面,还可以使反应气体三氟化氮进行稀释,防止反应剧烈产生及其他不可控的危险。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116969512 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310697251.9
(22)申请日 2023.06.13
(71)申请人 福建德尔科技股份有限公司
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