PIPS-695离子减薄仪操作规程2020版.pdf

PIPS 695 离子减薄仪操作规程 一、 操作前准备 ◼ 确定Ar 钢瓶内尚有Ar 气体，输出压力25 PSI； ◼ 设备真空可达到5E-4 Pa （关掉左右离子枪氩气，上升载台）； ◼ 确定左右离子枪离子束是否对中。 二、 试片交换 ◼ 将试片以 Duo Post 试片座固定好,并将待减区域移至中心； ◼ 按住 stage 绿色箭头上滑上升载台，按 vent，取下预抽室上 盖； ◼ 将 Duo Post 放入预抽室样品座上,盖上预抽室上盖； ◼ 按住 stage 绿色箭头往下滑下降载台，等到指示灯由黄灯变绿 即可。 三、 减簿及观察 ◼ 设定所需的减薄时间； ◼ 设定工作电压 (一般设定为 4 或 5 Kev)； ◼ 设定离子枪工作模式(一般设定为双离子束调变)； ◼ 调整左右离子枪工作角度(一般正负 4 度)； ◼ 氩气工作模式选成自动气体； ◼ 设定载台转速(一般为 3 RPM)； ◼ 点启动开始工作； ◼ 工作期间可以点 Viewing 选项,使用 CCD 观察样品减薄情况； ◼ 样品穿孔后可更换低电压继续减薄,直到有良好薄区。