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2023-11-04 发布于北京
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一种晶圆加工的自动定位装置.pdf

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本发明涉及一种晶圆加工的自动定位装置，旨在解决现有定位装置结构复杂，定位精度的稳定性和可靠性差，通用性差，使用不方便的问题，提供一种结构简单、稳定可靠、通用性好、使用方便，无需CCD相机即可实现寻向的晶圆自动定位装置。包括底板、固定轮、旋转吸盘、中心定位装置和寻向装置，固定轮安装于底板上；旋转吸盘安装于固定轮上，晶圆片放置于旋转吸盘上；中心定位装置包括若干沿晶圆片周向分布的定位柱，定位柱向内抱紧可将晶圆片中心定位于旋转吸盘上；寻向装置安装于底板上，包括光纤传感器，可对晶圆缺口进行检测。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116995012 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202311155158.1 (22)申请日 2023.09.08 (71)申请人北京精雕科技集团有限公司地址

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