超净高纯试剂的开发与生产方案（一）.docx

超净高纯试剂的开发与生产方案 一、实施背景 随着科技的快速发展，尤其是半导体、光伏、LED等新兴产业的崛起，对超净高纯试剂的需求迅速增长。超净高纯试剂主要用于清洗、蚀刻、掺杂等工艺环节，对产品的纯度、洁净度要求极高。目前，国内超净高纯试剂市场主要被国外企业垄断，进口依赖度高。因此，从产业结构改革的角度出发，开发和生产超净高纯试剂具有重要意义。 二、工作原理 超净高纯试剂的生产原理主要包括精馏、离子交换、吸附、膜分离等过程。以精馏为例，通过加热、减压等操作，使试剂中的各组分在蒸馏塔中按沸点差异分离，从而达到提纯的目的。离子交换则是利用离子交换树脂的选择性吸附特性，将溶液中的离子进行交换、分离。吸