无尘车间员工管理制度.pdf

Word 无尘车间员工管理制度 无尘车间员工管理制度1 1．无尘车间管理的目的 半导体产品生产过程对车间有明确的干净要求，为了满意生产 工艺需要、保证产品质量、平安生产，必需对干净室的环境、人员、 物料、设备、生产过程等进行掌握。 2．无尘车间管理的原则 2.1进入干净室的管理，包括对干净室工作人员进入、物料进 入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得 将微粒、微生物带入干净室。 2.2操作管理技术，对干净室内人员用干净工作服的制作、穿 着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清 扫、灭茵等，尽可能地削减、防止干净室内尘粒、微生物的产生、滞 留、繁殖等。 2.3严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程， 保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气 电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工要 求和空气干净度等级。 2.4清扫、灭菌管理，对干净室内的各类设备、设施的清扫、 灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除干净室内尘粒、 微生物的产生、滞留、繁殖。 2.5干净室环境掌握的内容包括：空气净化、干净建筑、与产 第 1 页 Word 品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物掌握 以及微振动、噪声、静电的掌握、防止等。 3．适用范围半导体公司全部干净生产区及干净帮助间(包括人 员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括 部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的干净 厂房及其帮助用房。 4．术语：无 5．管理程序 5．1无尘车间干净室施工管理制度 5．1．1背景 5．1．1．1半导体制造业必需在干净的环境中进行，在施工 中必需遵循行业规章和程序。本文件列出了这些规章和程序的概要。 为了保证项目的胜利，现场的每一位人员都必需遵守。 5．1．1．2 图纸上对于施工的干净建设草案将被强制执行。 这包括除了原料和成品仓库以外的全部主厂房内的地方。 5．1．1．3干净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内 的局部改造和扩建，后期全部干净室施工项目仍根据本制度规定的原 则进行管理。 5．1．2责任与义务 5．1．2．1全部承包商有责任确保他们的工人都了解这些规 章和程序，并且在他们疏于遵从或违背时赐予培训和训练。被安排到 干净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守干净建设规章和 第 2 页 Word 程序。 5．1．2．2承包商负责执行干净室草案。他将每天对干净建 设区域进行检查，并填写检查清单。承包商负责供应干净室所需物品， 例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。他也负责供应每日执行干净规章和 程序的人员和设备。 5．1．2．3承包商建筑区域入口并对其进行管理。他供应清 洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在干净区域工作 的人员进行培训，并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。 5．1．2．4开头阶段，承包商应在每个入口处支配人员 〔除 非半导体公司在该入口处支配有人员〕以确保本规章和程序的执行。 5．1．2．5重复违背规章和程序的人员将被开除。没有贯彻 执行本规章和程序的供应商将被除名。 5．2无尘车间干净度定期检测制度/测量标准 5.2.1为了保证干净室的干净度满意工艺要求，必需定期对干 净室内的干净度进行检测。 5.2.2检测测试设备：激光粒子记数器 5.2.3检测周期：每周一上午、下午对各干净区域进行一次检 测 5.2.4检测条件：静态干净度测试 5.2.5数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中