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本发明提供一种晶圆检测装置和方法，装置包括设置在基台上的XY机构和图像采集机构，图像采集机构包括图像采集器和测距模块，测距模块位于图像采集器的一侧；XY机构上设有升降机构，升降机构的升降端设有晶圆载台。方法包括预先测定标定物与图像采集器的测量镜头之间的距离，装载有待测晶圆的晶圆载台根据蛇形路径从测距模块至图像采集器形成的方向移动进行采图检测，通过对焦距离预测值修正待测晶圆在采图检测过程中与图像采集器的对焦距离。本发明通过把实时测定的对焦距离值与预先测定的对焦距离值比对修正，从而使得对晶圆正常采图
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117038505 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310948367.5
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 盛吉盛（宁波）半
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