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本发明的课题在于降低在真空容器内移动的粒子附着于电介质罩的可能性。设置于真空容器(2)的壁面的磁场导入窗(3)包括:金属板(31),形成有多个狭缝(311);电介质罩(32),覆盖多个狭缝(311);垫圈(33),设置于电介质罩(32)与金属板(31)之间;以及防附着板(34),以覆盖多个狭缝(311)的至少一部分的方式设置于金属板(31)。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117044406 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202280022237.2 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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