GAS系统材料认知和施工规范教材课件.pptxVIP

GAS系统施工简介和规范 南京中电熊猫平版显示科技有限公司 新一代超高分辨率液晶面板项目 (G108) 工作特点 一． 液晶面板厂生产简介 二． 液晶面板厂所需气体之特性与功能 三． 液晶面板厂所需化学物质及其特性 四． 工作内容 目录 G108彩膜/成盒厂房 2 1 ． 液晶面板厂简介 液晶面板厂是生产液晶面板显示器的现代化厂房，其主要工作场所为无尘室。 无尘室是恒温恒湿的，温度为21°C。相对湿度为65% 。 2 ． 液 晶面板厂所需气体之特性及功能 由于制程上的需要，工厂使用了许多种类的气体。一般我们皆以气体特性来 区分。可分为特殊气体及一般气体两大类。前者为使用量较小之气体。如 SiH4、NF3等。后者为使用量较大之气体。如N2、CDA等。因用量较大；一 般气体常以“大宗气体”称之。即Bulk Gas。特气—Specialty Gas。 2-1 Bulk Gas在半导体制程中，需提供各种高纯度的一般气体使用于气动设 备动力、化学品输送压力介质或用作惰性环境，或参与反应或去除杂质度等 不同功能。 目前由于半导体制程日益精进，其所要求气体纯度亦日益提并。以下将简述 半导体厂一般气体之品质要求及所需配合之设备及功能。 厂房及气体功能介绍 G108彩膜/成盒厂房 3 大宗气体 中文名称 英文名称 干燥压缩空气 CDA 普通氮气 GN2 高纯氮气 PN2 高纯氩气 PAR 高纯氧气 PO2 高纯氢气 PH2 高纯氦气 Phe 大宗气体种类 2-1-1大宗气体的种类 G108彩膜/成盒厂房 4 Specialty Gas 类别 气体名称 易燃性气体 SiH4 、SiH2CL、PH3 等 低压性气体 DCS、CLF3、WF6 等 毒性气体 NF3,PH3 等 腐蚀性气体 HCL、CL2、SiH2CL2、BCL3BF3、SiF4、WF6、NH3 等 窒息性气体 CO2、CF4、C2F6 等 自燃性气体 SiH4、PH3、B2H6 等 2-2 Specialty Gas 半导体厂所使用的Specialty Gas种类繁多，约有四、五十种，依危险性可分 为以下数类： 特气种类 G108彩膜/成盒厂房 5 3-3化学特性 序号 化学式 中文名称 化学特性 1 H2SO4 硫酸 强腐蚀性液体 2 H3PO4 磷酸 腐蚀性液体 3 HNO3 硝酸 强腐蚀性液体 4 HCL 盐酸 强腐蚀性刺激性液体 5 BOE 50:1 蚀刻液 腐蚀性、毒性液体 6 BOE 100:1 蚀刻液 腐蚀性、毒性液体 7 BOE 200:1 蚀刻液 腐蚀性、毒性液体 8 DEV 显影剂 腐蚀性液体 9 NH4OH 氨水 强刺激性液体 10 H2O2 双氧水 刺激性、腐蚀性液体 11 M1 硝酸氢氟酸混合液 强腐蚀性液体 12 49% HF 氢氟酸水溶液 腐蚀性剧毒液体 13 1% HF 氢氟酸水溶液 腐蚀性剧毒液体 14 Thinner 晶边清洗液 易燃液体 15 EKC270 光阻去除液 腐蚀性、刺激性液体 16 A515 显影液 易燃性、刺激性液体 17 NMP 正甲基比喀酮 可燃性、刺激性液体 18 IPA 异丙醇 易燃性、强毒性液体 19 C260 润湿液 易燃性、刺激性液体 化学品种类 3．晶圆厂所需之化学物质及其特性 G108彩膜/成盒厂房 6 4 ． 工作内容 我们所做的工作就是利用自动焊机、弯管器等工具。由气瓶柜(或气罐)一 端架设管路至FAB内机台附近并开设预留阀即TAKE OFF点(此段工作称为 一次配)。然后再由TAKE OFF点配制管线至机台接点即二次配(HOOK UP)。 配管材料及阀件简介 1. 管件---PipeTube 2. 连接配件---Fittings 3. 阀件---Ultra Clean Valves 4. 调压阀---Pressure Regulator 5. 压力侦测器---Pressure GaugeTransducer 6. 过滤器---Gas Filter 7. 选用材料依据 8. 二次阀盘组之形式 工作内容及材料认知 G108彩膜/成盒厂房 7 1 ． About PipeTube (关于管材) 1-1.依材质分类管材可分为： 1SUS 304 2SUS 316 3SUS 316L 其差异在于SUS316增加钼(Mo)金属，改善其机械性质。 L则表示材料降低含C量，增加含镍(Ni)量。 1-2.依规格分类可分为： 1日规 (JIS)： PIPE SIZE 2美规 (ASTM)： TUBE SIZE 其中须注意： 11”之尺寸在PIPE SIZE=25A,其外径OD为34.4mm,在TUBE SIZE其OD为25.