高速精密运动平台双光栅尺切换方法.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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高速精密运动平台双光栅尺切换方法.pdf

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本发明涉及一种高速精密运动平台双光栅尺切换方法，包括运动平台，运动平台包括低精度运动区间和高精度运动区间；运动平台由低精度向高精度运动控制区间转换位置点；运动平台运动结构部分经过第一编码器反馈位置和第二编码器反馈位置时，新反馈位置输出为运动结构部分的实时位置；运动控制单元利用两路反馈信号的相互跟踪实现无扰切换。本发明高速精密运动平台双光栅尺切换方法，兼顾高速度和高精度,利用同一个运动台，在不同的工作位置时，采用精度不同的栅尺系统做运动控制单元的反馈；通过无扰切换控制策略、行程设计、加减速优化，实

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117055634 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202311036148.6 (22)申请日 2023.08.17 (71)申请人千凰微纳装备科技（北京）有限公司