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本实用新型公开了料盒适配器,包括承载台、适配器机构、若干对挡块;承载台上设有感应板,感应板上设有若干定位杆;适配器机构放置于感应板上,适配器机构包括接触板,接触板卡合设于定位杆上,接触板上固定连接有支板,支板上铰链连接有适配器门,适配器门与接触板相卡合,支板与适配器门上均连接有一对固定杆,相邻一对固定杆之间连接有伸缩杆;挡块安装于接触板上。本实用新型的料盒适配器,可以与光学检测机进行配合使用,进而可以使得光学检测机能够适用于不同类型,不同尺寸的晶圆料盒,工作人员无需更换不同的载台,不仅可以提高晶
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220063816 U
(45)授权公告日 2023.11.21
(21)申请号 202321614595.0
(22)申请日 2023.06.25
(73)专利权人 苏州康钛检测科技有限公司
地址
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