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1)粉末试样: 主要用于粉末材料的形貌观察、颗粒度的测定及结构与成分分析等; 2、主要制备方法及目的 2)表面复型和萃取复型: 金相组织观察、断口形貌、形变 条纹;第二相形态、分布和结构等; 本文档共35页;当前第1页;编辑于星期六\8点53分 3)薄膜试样: 样品内部的组织、结构、成分、位错组态和密度、相取向关系等。 本文档共35页;当前第2页;编辑于星期六\8点53分 TEM的样品制备方法: 支持膜法 复型法 晶体薄膜法 超薄切片法 高分子材料必要时还要: 染色 刻蚀 本文档共35页;当前第3页;编辑于星期六\8点53分 2.2.2 支持膜法 粉末试样多采用此方法。 将试样载在支持膜上,再用铜网承载。 支持膜的作用是支撑粉末试样,铜网的作用是加强支持膜。 本文档共35页;当前第4页;编辑于星期六\8点53分 常用的铜网直径为3mm,孔 径约有数十μm 支持膜法 本文档共35页;当前第5页;编辑于星期六\8点53分 1)要有相当好的机械强度,耐高能 电子轰击; 2)应在高倍下不显示自身组织,本身颗粒度要小,以提高样品分辨率; 3)有较好的化学稳定性、导电性和导热性。 支持膜法 1、对支持膜的要求: 本文档共35页;当前第6页;编辑于星期六\8点53分 常用的支持膜材料有:火棉胶、 AC纸(醋酸纤维素膜)、碳等。 上述材料除了单独能做支持膜材料外,还可以在火棉胶等塑料支持膜上再镀上一层碳膜,以提高其强度和耐热性。镀碳后的支持膜称为加强膜。 支持膜法 本文档共35页;当前第7页;编辑于星期六\8点53分 火棉胶: 1%火棉胶 + 99%醋酸戊脂溶液。 火棉胶膜制备: 滴一滴火棉胶溶液在蒸馏水上,扩展开成一层薄膜,用Ф3mm铜网捞起、凉干。 支持膜法 2、火棉胶膜的制备 本文档共35页;当前第8页;编辑于星期六\8点53分 AC纸成分: 12%颗粒状醋酸纤维素 + 88%丙酮。 AC纸制备: 将溶液均匀地倒在玻璃板上,形成一 层薄膜,干后取下即可。 支持膜法 3、AC纸(醋酸纤维素膜)的制备 本文档共35页;当前第9页;编辑于星期六\8点53分 粉末加入溶剂,在超声波振荡器 上使之均匀混合; 将粉末溶液滴在支持膜上; 在真空镀膜机中镀膜(喷碳、金、 Cr等)。 支持膜法 4、?粉末样品的制备步骤: 本文档共35页;当前第10页;编辑于星期六\8点53分 复型法 在电镜中易起变化的样品和难以制成薄膜的试样采用此方法。 用对电子束透明的薄膜(碳、塑料、氧化物薄膜)把材料表面或断口的形貌复制下来的一种间接样品制备方法。 本文档共35页;当前第11页;编辑于星期六\8点53分 复型法 复型材料和支持膜材料相同。 表面显微组织浮雕的复型膜,只能进行形貌观察和研究,不能研究试样的成分分布和内部结构。 在材料研究中,复型法常用以下几种: (1) 塑料一级复型、(2) 碳一级复型 (3) 塑料-碳二级复型 、(4)萃取复型 本文档共35页;当前第12页;编辑于星期六\8点53分 ① 塑料一级复型 样品上滴浓度为1%的火棉 胶醋酸戍酯溶液或醋酸纤维 素丙酮溶液,溶液在样品表 面展平,多余的用滤纸吸掉, 溶剂蒸发后样品表面留下一 层100nm左右的塑料薄膜。 分辨率低(10-20nm),电子束照射下易分解和破裂。 本文档共35页;当前第13页;编辑于星期六\8点53分 碳一级复型 样品放入真空镀膜装置中, 在垂直方向上向样品表面蒸镀 一层厚度为数十纳米的碳膜。 把样品放入配好的分离液中进 行电解或化学分离。 分辨率高(2-5nm), 电子束照射下不易分解和 破裂,样品易遭到破坏。 本文档共35页;当前第14页;编辑于星期六\8点53分 ② 二级复型 先一次复型,然后进行二 次碳复型,把一次复型溶去, 得到第二次复型。 为了增加衬度可在倾斜 15-45°的方向上喷镀一层 重金属,如Cr、Au等。 本文档共35页;当前第15页;编辑于星期六\8点53分 优点: 1) 制样简便; 2)不破坏试样表面 3)中间复型为塑料(较厚)较易剥离 4)观察膜为碳膜,导电性好(如投影重金属)。 复型法 ?二级复型的特点: 本文档共35页;当前第16页;编辑于星期六\8点53分 缺点: 1)间接反映样品表面形貌; 2)易引入假像,如气泡、皱折等; 3)不能提供材料的内部信息; 本文档共35页;当前第17页;编辑于星期六\8点53分 几种复型的优缺点:
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