TAVS 002-2020 大型高真空装置涉真空部件检漏测试方法.docx

ICS 27.120.99 CCS F91 AVS 安 徽 省 真 空 学 会 团 体 标 准 T/AVS 002—2020 大型高真空装置涉真空部件检漏 测试方法 Leak testing method of vacuum-related components on large-scale high vacuum 2020 - 09 - 02 发布 2020 - 10 - 02 实施 安徽省真空学会 发 布 T/AVS 002—2020 前 言 本文件按TG照 B/ 起草。 1.1020 《标准化工作导则 第1部分： 标准化文件的结构和起草规则》的规定 本文件由中国科学院等离子体物理研究所提出。 本文件由安徽省真空学会归口。 本文件起草单位：中国科学院等离子体物理研究所、合肥中科离子医学技术装备有限公司。 本文件主要起草人： 陈肇玺、杨庆喜、宋云涛、陆坤、徐皓、彭学兵、陈仕琳、陈永华、李俊。 T/AVS 002—2020 大型高真空装置涉真空部件检漏测试方法 1 范围 本文件规定了大型高真空装置涉真空部件的真空等级分类、检漏测试的总体要求、检漏系统及方 法、各级真空部件检漏流程以及测试报告。 本文件适用于粒子加速器、核聚变装置、空间模拟器等大型复杂高真空装置上涉真空部件的真空 密封性能测试，指导部件质量验收与漏孔修复。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件； 不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 3163 真空技术 术语 GB/T 495 无损检测 人员资格鉴定与认证 GB/T 322182-015 真空技术 真空系统漏率测试方法 GB/T 36176 真空技术 氦质谱真空检漏方法 3 术语和定义 GB/T 3163TB/ 36176界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 去气 degassing 3.2 气体从材料表面上的人为解吸。 有效最小可检漏率 effective minimum detectable leak rate 被检部件与检漏系统连接后，检漏仪在检漏系统具体工作条件下，检漏仪能检出的最小漏孔漏率。 3.3 检漏灵敏度 leak testing sensitivity 在具体工作条件下， 检漏系统所能检出的最小漏孔漏率。 3.4 喷吹法 spray probe method 用喷枪喷出已知浓度的氦气束在被检件的表面扫描进行的氦质谱检漏法。 3.5 氦罩法 helium hood method 将被检部件部分或全部罩住，罩内充入已知浓度的氦气进行的氦质谱检漏法。 3.6 压力-真空检漏法 pressure-vacuum chamber method 将充入氦气的被检件放入真空内抽气至规定的真空度，在压差作用下，氦气通过漏点进入真空室而 被检漏仪测试的方法。 4 涉真空部件真空等级分类 大型高真空装置涉真空部件按应用场合分类如表1。 T/AVS 002—2020 表1 涉真空部件真空等级分类 真空等级 部件特征 一级 4 4 高压水冷部件，安装在大型高真空装置真空室内部； 烘烤去气过程中承受 2 0 。)C (注1 高温烘烤。高温烘烤通过向其冷却管道通压力与冷却水压力相同的 2 0 。C高温水来实现。 二级 4 低压水冷部件，安装在大型高真空装置真空室内部； 烘烤去气过程中承受 2 0 。C 高温烘烤。高温烘烤通过一级部件的热辐射来实现。 三级 非主动冷却部件， 与大型高真空装置真空室相接或安装在真空室内部（存在面 向大气表面），在大型高真空装置运行期间无法将此部件与真空室真空隔离，烘烤 去气过程中 0 。C高温烘烤。高温烘烤通过一级、二级部件的热辐射来实现。 四级 与大型高真空装置真空室通过真空阀门连接， 在大型高真空装置运行期间此 部件可以与真空室真空隔断，烘烤去气过程中承受约150 。C （注 ）的高温烘烤。 高温烘烤通过一级、二级、三级部件的热辐射来实现。 注1：根据不同装置具体要求， 可能采用不 0 °C的高温烘烤温度。烘烤检漏测试采取真实烘烤温度作为检漏烘 烤温度。如无特别说明 0 °C作为检漏烘烤温度。 注2：根据部件具体安装位置， 烘烤去气过程中部件温度存在差异。应取与真实烘烤温度相近的温度作为检漏烘烤温 度。如无特别说明采用150 °C作为检漏烘烤温度。 5 检漏一般性要求 5.1 检漏对象及场合 5.1.1 大型高真空装置所有涉真空部件应按第7 章节所述流程进行严格检漏测试。 5.1.2 相同检漏测试条件的多个简单部件可以根据实际需要串、并联后同时测