一种导流装置、晶体生长装置及晶体生长方法.pdfVIP

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2023-11-29 发布于四川
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一种导流装置、晶体生长装置及晶体生长方法.pdf

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本说明书实施例公开了一种导流装置、晶体生长装置及晶体生长方法，导流装置包括导流侧壁，所述导流侧壁围绕第一方向形成导流空间；隔离板，所述隔离板设置于所述导流空间，将所述导流空间沿所述第一方向分隔成第一空间和第二空间；晶体生长装置包括导流装置；坩埚，用于盛装所述原料液；托盘，用于支撑籽晶，在所述籽晶的生长面生长所述晶体；晶体生长方法，包括使用晶体生长装置生长所述晶体。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117127247 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202311089325.7 (22)申请日 2023.08.28 (71)申请人眉山博雅新材料股份有限公司地址