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本申请涉及真空蝶阀技术领域,具体提供了一种真空蝶阀控制方法、系统、电子设备及存储介质,该方法包括以下步骤:获取腔室内的实际气压信息,腔室与真空蝶阀连接;基于预先建立的曲线算法模型根据实际气压信息获取对应的实际阀门位置信息,并基于曲线算法模型根据预设的目标气压信息获取对应的目标阀门位置信息;基于PID控制根据实际阀门位置信息和目标阀门位置信息对真空蝶阀的阀门位置进行调整,以使实际阀门位置信息与目标阀门位置信息相同;该方法能够根据腔室内的气压自适应调节真空蝶阀的阀门位置,从而有效地提高真空蝶阀的调节
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117148709 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311441738.7
(22)申请日 2023.11.01
(71)申请人 季华实验室
地址 528200
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