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一种大功率电子束束斑测量方法，包括以下步骤：法拉第杯沿直线轨迹移动；电子束束斑沿与所述直线轨迹相交的圆形轨迹移动若干圈，且电子束束斑在每圈与法拉第杯相遇时，所述法拉第杯获取若干采集点的坐标及对应的电流信号；基于各圈采集点的坐标及对应的电流信号得到所述电子束束斑的束斑特性；本发明通过使电子束束斑做圆周运动，大幅缩短了法拉第杯在采集电子束束斑电子时的移动距离和时间，提高了测量效率，同时，法拉第杯仅与电子束束斑每次旋转至直线轨迹时接触，进一步降低了法拉第杯暴露在电子束束斑中的时间，有效地避免了法拉第杯
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117169950A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311133590.0
(22)申请日2023.09.04
(71)申请人核工业理化工程研究院
地址30
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