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本发明的实施例提供了一种真空泵及真空系统,涉及真空技术领域。该真空泵包括第一泵体和第二泵组;其中,第一泵体具有至少两个第一出口,第二泵组包括至少两个并联设置的第二泵体,每个第二泵体具有第二入口,第二入口与第一出口一一对应且连通,每组第二入口与第一出口的间距均相等。该真空泵通过设置至少两个第二泵体用于与第一泵体连通,并使第二入口与第一出口的间距相等,当气流在第一泵体和不同的第二泵体之间流动时,可以避免存在行程差异,有助于减少气流流动时所产生的震动。该真空系统包括真空泵,其具备真空泵的全部功能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117167247A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311226484.7F04C25/02(2006.01)
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