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2023-12-13 发布于四川
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化学机械研磨机及其侦测装置.pdf

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本申请实施例提供一种化学机械研磨机及其侦测装置，其中侦测装置包括传感器安装基座和安装于所述传感器安装基座的触发传感器和目标传感器，传感器安转基座固定于所述化学机械研磨机；触发传感器具有触发感应空间，适于当在所述触发感应空间内感应到所述第一移动件时，输出触发信号；目标传感器具有目标感应空间，适于当接收到所述触发信号，且在所述目标感应空间内未感应到所述第二移动件时，输出报警信号；在所述第一移动件的移动路径上，当所述第二移动件连接于所述第一移动件，所述第一移动件存在于所述触发感应空间内时，所述第二移动

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117207053A

(43)申请公布日2023.12.12

(21)申请号202210621916.3

(22)申请日2022.06.02

(71)申请人中芯北方集成电路制造（北京）有限

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