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[技术问题]在包含螺旋图案的线圈部件中，抑制由粗化引起的直流电阻的增加。[解决手段]具备：第一工序，形成包含螺旋状地卷绕多匝而成的螺旋图案(SP1)的导体层(10)；第二工序，选择性地使螺旋图案(SP1)的上表面(93)和沿着周向的侧面(90)的上部区域(91)粗化；和第三工序，形成埋入导体层(10)的绝缘树脂层(71)，重复执行第一工序至第三工序。这样，由于选择性地使螺旋图案(SP1)的上表面(93)和侧面(90)的上部区域(91)粗化，因此能够抑制因侧面(90)的下部区域(92)过度粗化引起
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117223071A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202280030878.2(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限
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