一种半导体AMHS系统中晶圆载盒的自动引导小车设备.pdfVIP

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2023-12-13 发布于四川
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一种半导体AMHS系统中晶圆载盒的自动引导小车设备.pdf

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本发明公开了一种半导体AMHS系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，包括：自主移动式引导小车，所述自主移动式引导小车上安装机箱，所述机箱内设有晶圆盒载位，所述晶圆盒载位上表面均设有RFID天线读取器和按压传感器以及晶圆载盒盘面定位销，所述机箱顶部设有电控箱，电控箱内设有RFID物料信息读取系统、主控制系统和操作控制屏幕。本发明选用市场主流自主移动式引导小车作为运输载体，解决了固定式物料货架无法跨区域自主运输功能以及解决了人工劳动力问题，满足物料电子货架上传物料信息，通过解决两种传统运输晶圆载盒装置问

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117219549A

(43)申请公布日2023.12.12

(21)申请号202311139125.8

(22)申请日2023.09.06

(71)申请人芯博佳信息科技（苏州）有限公司

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