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本发明公开了一种背照式图像传感器及其形成方法，该方法包括：提供衬底，其包括像素区和位于所述像素区外围的电路区；在所述像素区与所述电路区之间形成金属隔离结构，用于隔离所述外围电路区的器件产生的光；所述金属隔离结构至少一侧存在第一沟槽隔离结构或第二沟槽沟槽隔离结构中的至少一种，以减少由所述金属隔离结构引起的应力对所述像素区的影响；所述第一沟槽隔离结构设置于所述衬底正面；所述第二沟槽隔离结构设置于所述衬底背面。本发明基于背照式图像传感器现有的工艺模块，没有额外增加工艺复杂性和工艺费用，可以降低外围电路
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117219644A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202210621568.X
(22)申请日2022.06.02
(71)申请人格科微电子（上海）有限公司
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