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本申请提供一种用于微动台的运动机构及垂向三自由度微动台，涉及半导体加工设备的领域，其包括驱动件、传动组件、垂向调节组件及限位导向组件；垂向调节组件包括丝杠及丝杠螺母；丝杠螺母与传动组件连接，传动组件用于传递驱动件的动力，以带动丝杠螺母转动并限制丝杠螺母的轴向移动；丝杠与限位导向组件相连，限位导向组件用于限制丝杠的轴向转动并为丝杠的轴向位移提供导向，以使得丝杠沿轴向位移；丝杠的一端用于连接微动台，并且与微动台之间角向可调；当丝杠沿轴向位移时，微动台的高度及倾角跟随丝杠的轴向位移发生变化。通过设置垂
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117219562A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311077899.2
(22)申请日2023.08.24
(71)申请人智慧星空（上海）
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