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一种高制备容差导模共振带通滤波器及制备方法

一种高制备容差导模共振带通滤波器及制备方法，涉及微纳光学器件领域，尤其是一种基于全介质导模共振的高制备容差导模共振带通滤波器及其制备方法。

该滤波器采用全介质导模共振技术，具有高透射效率和窄线宽的优点。其制备方法包括以下步骤：

制备基底：选择合适的基底材料，如硅、玻璃等，并进行清洗、干燥等预处理。

制备谐振腔：在基底上制备多个谐振腔，每个谐振腔都具有特定的几何形状和尺寸。谐振腔可以是矩形、圆形或其他形状，具体取决于设计要求。

制备导模结构：在谐振腔内制备导模结构，该结构由多个导模单元组成，每个导模单元都具有特定的形状和尺寸。导模结构可以是由金属、介质或其他材料制成的，具体取决于设计要求。

制备电极：在导模结构上制备电极，用于控制导模共振的频率和幅度。电极可以是金属或其他具有良好导电性能的材料。

测试与调整：对制备好的滤波器进行测试和调整，以确保其具有所需的带通特性。

该制备方法具有以下优点：

制备容差大：由于采用全介质导模共振技术，该方法具有较大的制备容差，可以适应不同设计要求和工艺条件。

精度高：通过精确控制谐振腔和导模结构的形状和尺寸，可以实现高精度的滤波器制备。

成本低：该方法采用常规的微纳加工技术，成本相对较低。

易于集成：由于该方法具有较小的体积和易于集成的特点，可以应用于各种微纳光学器件中。

总之，该高制备容差导模共振带通滤波器及制备方法具有较高的实用价值和广泛的应用前景。