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;;CHAPTER;;;;CHAPTER;化学气相沉积(CVD);;将硅源、氮源和溶剂混合，形成溶胶，经过干燥、凝胶化、热处理等步骤制得氮化硅。这种方法可以在较低温度下制备氮化硅，但纯度相对较低。;CHAPTER;高硬度;;;CHAPTER;;;生物相容性材料;;THANKS
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