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一种铅玻璃通孔微通道板、其制作方法与用途.pdfVIP

一种铅玻璃通孔微通道板、其制作方法与用途.pdf

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本发明涉及一种铅玻璃通孔微通道板、其制作方法与用途,方法包括1)将铅玻璃原料混合、研磨、冲压、成型、切割、磨抛,得到铅玻璃薄片材料;2)将所述铅玻璃薄片材料,进行激光诱导局域改性、化学选择性腐蚀,得到具有铅玻璃通孔阵列结构的基底材料;3)将所述基底材料,通过氢还原处理或原子层沉积,制作电阻性二次电子发射层,得到铅玻璃通孔微通道板。本发明的通道孔径和孔间距可调、倍增成像鉴别率高、电子增益可调、探测量子效率高、暗电流噪声低、动态范围大,能广泛应用在微光像增强器、光电倍增管、质谱仪、光子计数器和辐射探

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117263520A

(43)申请公布日2023.12.22

(21)申请号202311096069.4

(22)申请日2023.08.29

(71)申请人北方夜视技术股份有限公司

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