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一种基于IPA的置换干燥方法及装置.pdfVIP

一种基于IPA的置换干燥方法及装置.pdf

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    本发明公开了一种基于IPA的置换干燥方法及装置，应用于半导体制备领域，该方法包括：载有若干晶圆的晶圆盒置于干燥槽体的承载部件，摆动部件带动承载部件沿晶圆排列方向进行周期性摆动；其中，周期性摆动包括：以第一摆动角度进行第一阶段周期摆动，通过高辐摆动调整晶圆和晶圆盒卡槽位置关系；以第二摆动角度进行第二阶段周期摆动，通过低辐摆动定位晶圆以干燥晶圆；第一摆动角度大于第二摆动角度。本发明通过设置摆动部件，同时利用摆动部件带动晶圆沿排列方向进行大摆幅的周期性摆动，以调整晶圆与晶圆盒的位置关系，并结合小摆幅的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117329805A

    (43)申请公布日2024.01.02

    (21)申请号202311322687.6F26B25/00(2006.01)

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