新版ISO14644-3检测方法.docVIP

国际标准

INTERNATIONAL

STANDARD

ISO

14644-3

第一版

nnne4n4E

洁净室及有关受控环境——

第3部分：

检测措施

CopyrigthtirtemafionalOngantzationtorStantardization

NomornfhesonornatwnrkinnnarmittedwihratlcansetromIHs

Referencenumber

inA4araannnnniFi

洁净室及有关受控环境

第3部分：检测措施

目次

序言

引言

1范围

2引用原则

3术语与定义

3.1概述

3.2空气悬浮粒子测量

3.3空气过滤器与系统

3.4气流

3.5静电测量

3.6测量仪器与测量条件

3.7占用状态

4检测措施

4.1洁净室检测

4.2原理

5检测汇报

附件A(资料)多种检测的选择和实行次序

附件B(资料)检测措施

附件C(资料)检测仪器

文献(略)

前言

国际原则化组织(ISO)为全球各国原则化组织(ISO组员)的联合会，国际原则的编

写工作由其下的各技术委员会进行。ISO的各个组员组织若对技术委员会的某个课题感爱

好，它就有权参与该技术委员会的工作。国际上凡与ISO保持联络的政府的或是非政府组

织，均可参与此项工作。ISO在电气技术原则化的各项事宜中，与国际电气技术委员会(IEC)

进行紧密合作。

国际原则草案是按照ISO/IEC指导条例第2部分的法则制定的。

技术委员会的重要任务是制定国际原则。国际原则草案由其技术委员会承认后送各会员

团体进行传阅，以待表决。至少需要75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际原则

颁布。

ISO14644的这一部分中也许有些内容会波及到专利权。ISO不对识别任何或所有此类

专利权负责。

ISO14644-3是由洁净室及有关受控环境技术委员会ISO/TC209编写的。

ISO14644在洁净室及有关受控环境的总标题下包括下述各部分：

——第1部分：空气洁净度分级

——第2部分：证明一直符合ISO14644-1的检测和监测技术条件

——第3部分：检测措施

——第4部分：设计、建造和启动

——第5部分：运行

——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)

——第8部分：空气分子污染分级

正在编写的部分有：

——第6部分：词汇

引言

洁净室及有关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平，以完毕有关的、对污染敏

感的活动。下述行业的产品和工艺均受益于对空气悬浮污染物的控制：航天、微电子、制药、

医疗器械、食品和医疗。

本部分ISO14644阐明的检测措施，可用于阐明ISO14644其他部分中所述的洁净室的特

性。

注：本部分ISO14644并未包括所有洁净室参数的检测措施。ISO/TC209编制的其他文献中讨论了有

特定产品或工艺的洁净室和洁净区的其他参数进行检测时所使用的措施和仪器(例如ISO14698中对活物

质的控制和测量措施，ISO14644-4中的洁净室功能性检测，ISO14644-7中的隔离装置检测)。此外还可以

考虑其他的合用原则。

本部分ISO14644中的陈说参照了ASTM,CEN,DIN,IEST,JACA,JIS和SEMI等

原则。

洁净室及有关受控环境

第3部分：检测措施

注意-本部分ISO14644的应用也许波及有害的材料、作业和设备。本部分ISO14644

未提及所有与其使用有关的安全性问题。因此，使用本原则时，客户应负责制定合适的安全

和卫生准则，及在使用前确定规程性限制的合用性。

1范围

本部分ISO14644规定了指定级别的空气悬浮微粒洁净度的检测措施和测定洁净室和

洁净区性能特性的检测措施。这种特性检测可用在3种状态(空态、静态、动态)下的、单

向流和非单向流这两种类型的洁净室和洁净区。检测措施中有检测仪器和检测措施方面的提议。假如洁净室和洁净区的类型影响到检测措施，则有其他检测措施的提议。其中的某些检测，则提议了几种不一样的措施和仪器，以便适合于不一样的最终使用规定。假如客户与建

造商一致同意的话，可以使用本部分的ISO14644中未包括的措施。替代措施不一定会提供

批注[l1]:句子需要更改

等效的测量成果。

本部分ISO14644不合用对洁净室或隔离装置内产品或工艺进行的测量。

2引用原则

下列引用原则对本文献的使用是不可或缺的。标有日期的引用原则，只有该引用的版本

合用。没标有日期的引用原则，则其必威体育精装版版本的规范性文