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本申请实施例提供一种成像系统及方法。所述成像系统包括探测器和成像透镜组件，探测器位于成像透镜组件的像面，还包括衍射组件，衍射组件包括位于成像透镜组件前方且相邻设置的第一衍射光学元件和第二衍射光学元件，第一衍射光学元件与第二衍射光学元件可产生垂直于光轴方向的相对移动，以使被测目标的像在像面产生偏移。通过可相对移动的第一衍射光学元件和第二衍射光学元件，可以使被测目标的像在像面产生偏移，因此，可以将本申请实施例的成像系统应用于超采样领域，提高成像质量，这种成像系统的结构非常简单，控制也非常简单。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117369152A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311282242.X
(22)申请日2023.10.07
(71)申请人天府兴隆湖实验室
地址6102
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