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本发明首先通过在垂直型深紫外发光二极管中电子注入层的内部设计多个凹槽，且每一凹槽至少贯穿部分电子注入层，有利于量子阱有源层发射至电子注入层方向的紫外光沿凹槽侧面发生漫反射，从而提升了垂直型深紫外发光二极管的光提取效率；同时本发明还通过在外延结构表面设置光学调节层，且光学调节层的折射率介于空气的折射率与AlGaN材料的折射率之间，以使光学调节层的折射率介于外延结构表面与空气之间，从而降低了AlGaN材料与空气界面的折射率差，进而降低了垂直型深紫外发光二极管发射的光线在外延结构表面与空气界面传播时产
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117393679A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311529964.0H01L33/32(2010.01)
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